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型号

M-DW1

中心测量距离

45mm

检测物体

3英寸以上的半导体晶圆(注2)

可对应检测面

有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)

检测角度

12.5±5°(注4)

晶圆间距

间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)

适用晶圆盒

SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒

电源电压

12?24V DC±10%　脉动P-P10%以下

消耗电流

65mA以下

输出

NPN输出／PNP输出　可由切换开关选择
<NPN输出>
NPN开路集电极晶体管
?较大流入电流：100mA 
?外加电压：30V DC以下(输出和0V之间)
?剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时)
　　　　　　　 0.4V以下(流入电流为16mA时)
<PNP输出>
PNP开路集电极晶体管
?较大源电流：100mA
?外加电压：30V DC以下(输出和+V之间)
?剩余电压：1V以下(源电流为100mA时)
　　　　　　　 0.4V以下(源电流为16mA时)

输出动作

可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON

短路保护

装备(自动复位)

反应时间

500μ蝉以下

工作状态指示灯

橙色LED(输出ON时亮起)

稳定指示灯

绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)

定时器功能

装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式

投光停止输入

信号条件
?投光停止：断开或4?8V
?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

灵敏度切换输入

信号条件
?输入OFF：断开或4?8V
?输入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

灵敏度设定

背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换：本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式

环
境
性
能

保护构造

IP20(IEC)

使用环境温度

0?＋55℃(注意不可结露)、存储时：?10?＋70℃

使用环境湿度

35?85%RH、存储时： 35?85%RH

使用环境照明度

白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下

耐电压

AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间

绝缘电阻

所有电源连接端子与外壳之间，20惭Ω以上，基于DC250V的高阻表

耐振动

频率10?500Hz　双振幅3mm　X,Y和Z方向各2小时

耐冲击

耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回

投光元件

LED(调制式)

材质

外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯

电缆

0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm

电缆延长

0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m

重量

本体重量：约75g