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德国PILZ皮尔兹安全光栅312200

符合标准

EN 60068-2-78

测试时的测量值 非零下

大值 与 NN 的大距离 5000 m

EMV EN 60947-5-1、EN 61326-3-1、EN IEC 61000-6-4

旋转

符合标准 EN 60068-2-6

频率 10 - 55 赫兹

振幅 0.35 毫米

罗茨泵（莱宝） RUVAC WH 700

罗茨泵（莱宝） RUVAC WH 4400

单级旋片真空泵（莱宝） SV40B 960307（配套电机：3~LS90S）

增压泵（莱宝） OB12000

气动电磁换向阀（美国Duravalve） 3M310  25-110PSI

电动调节真空蝶阀（美国博雷Bray） 70-0061-11360-536/B

气动真空蝶阀（美国博雷Bray） 92-2550-11350-532

气动两位五通双向电磁换向阀（STC） 4V320-1/4B  21-115PSI

8叶片气动马达（美国GAST） 6AM-NRV-22A

二位五通气动双向电磁换向阀（美国惭础颁） MV-B2A-ABAA-DM-DDAJ-1KA

叁位五通气动双向电磁换向阀（美国MAC） MV-B3A-AEAA-DM-DDAJ-1KA

水泵（格兰富） CRN90-2-2 A-G-A-E-HOOE  配套电机：3~MOTML160BA-2-FF300-H3

水泵（格兰富） CRN150-2-1 A-G-A-E-HOOE 配套电机：ML180BA-2-FF300-H3

水泵（格兰富） CRN15-04 A-FGJ-A-E-HOOE  配套电机：ML112CA-2-FT130-H3

水泵（GEIGER） 1.5X2-8  AB  配套电机：M36H017S428G3

减速机（ALPHA阿尔法） VDT-100-MF1-10-071-BF